Wafer Robot
Tính năng, đặc điểm
Ưu điểm là tích hợp dọc cả phần cứng và phần mềm, cũng sử dụng độ chính xác cao và độ cứng động cơ DD, độ lặp lại có thể đạt ± 0.02mm. Nhỏ và sử dụng không gian cao.
Ứng Dụng
Áp dụng cho các ngành công nghiệp bán dẫn, ngành công nghiệp quang điện tử (tấm nhỏ, một bảng điều khiển năng lượng mặt trời nhỏ), ngành công nghiệp LED
